今井製作所

ボックス型クリーンオーブン

高性能フィルターで清浄度100を約束
高精度な温度分布を実現

 

 

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【特長】

対応オーブン : シールキュア、カラーフィルタ、 タッチパネル、アレイ工程、その他

耐久性の優れた基本設計

独自の設計による高いコントロール精度

独自の方式により、温度分布精度のアップ

スペースの有効活用を考えたコンパクト設計

カスタムメイドに柔軟に対応

【参考仕様】

温 度 範 囲 50~200℃
温度調整精度 ±0.5℃
温度分布精度 ±5℃
温度上昇時間 約60分 RT→200℃
ク リーン クラス100  HEPAフィルター